- HOME
- 環境測定 [使用分析装置一覧]
分析装置 | 機能 | 応用 |
---|---|---|
透過型電子顕微鏡(STEM) 日立製作所製 HD-2000 |
微小部分の観察 | 電子部品の微小異物観察・分析 結晶欠陥、結晶粒子の観察 |
集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 日立製作所製 FB-2100・FB-2000A |
試料の微細加工 | 透過型電子顕微鏡用試料の前加工 |
クロスセクションポリッシャー(CP) 日立ハイテクノロジーズ製 E-3500 計2台 |
試料断面の作成 | メッキ厚さの測定、金属間合金層の観察-分析 膜間異物の断面観察-分析、金属母材結晶粒界の確認 |
走査型電子顕微鏡(低真空SEM) 日立ハイテクノロジーズ製 S-3400N |
表面観察・定性分析 | 低真空での試料表面観察、定性分析、線・面分析 |
電子線マイクロアナライザー(EPMA) 島津製作所製 EPMA-1400 |
SEM観察、定性分析 (点・線・面分析) |
半導体素子の断面観察 付着異物の組成分析・元素の分布状態 |
走査型オージェ電子分光分析装置(SAM) 日本電子製 JAMP-30 |
表面分析、深さ方向分析 (点・線・面分析) |
表面の酸化・腐食・汚染等の解析 薄膜・多層膜の層構造解析 薄膜・多層膜の膜界面状態の調査 |
フーリエ変換赤外分光分析装置(FT-IR) パーキンエルマー製 本体:spectrum100 顕微IR:spectrum spotlight200 |
構造解析(微小部・薄膜可) | 異物の有機定性分析 Siウェーハ中の酸素濃度 窒化膜中の水素濃度 |
蛍光X線装置(XRF) 島津製作所製 EDX-720 |
定性分析 | 各種部材の定性・半定量分析 RoHS指令スクリーニング分析 |
X線回折装置(XRD) パナリティカル製 Panalitical X’PertPRO |
結晶構造解析、定性分析 (微小部・薄膜可) |
デバイス材料等の構造解析 異常部・析出物等の構造解析 石綿含有量の測定 |
グラファイトファーネス原子吸光光度計(GF-AAS) バリアン製 SpectrAA-400 アナリティックイエナ製 ZEEnit650 |
金属定量分析(超微量分析) | 純水中の超微量金属不純物分析 高純度薬液中の超微量金属不純物分析 ウェーハ表面の超微量金属不純物分析 |
誘導結合プラズマ発光分光分析装置(ICP-AES) パーキンエルマー製 OPTIMA 3300XL |
定量分析(金属元素) | 薬液中の不純物分析 各種材料中の不純物分析 |
全有機炭素計(TOC計) 島津製作所製 TOC-5000他 計2台 |
トータル有機物量の測定 | 純水中のTOC測定 |
誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP-MS) Agilent Technologies 7500cs |
金属定量分析(超微量分析) | 純水中の超微量金属不純物分析 高純度薬液中の超微量金属不純物分析 ウェーハ表面の超微量金属不純物分析 |
イオンクロマトグラフ(IC) 日本ダイオネクス製 DX-500 計2台 |
イオン定量分析(超微量分析) | 純水中の超微量アニオン不純物分析 ウェーハ表面の超微量アニオン不純物分析 環境汚染分子アンモニアの定量分析 |
液体クロマトグラフ質量分析装置(LC-MS) Waters 2695-ZQ |
定量分析(有機物質) | 環境汚染分子ホルムアルデヒドの定量分析 |
ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC-MS) 日本電子製 JMS-K9 島津製作所 GCMS-QP2010 Plus 他 計5台 |
定性・定量分析(有機物質) | 環境汚染分子有機物質の定性・定量分析 キャリア等からの発生ガス有機物質分析 各種サンプルの微量VOC分析(水、大気、材料) 環境汚染分子有機物質の定性・定量分析 キャリア等からの発生ガス有機物質分析 |
高分解能ガスクロマトグラフ質量分析計 Micro Mass社製 AutoSpec-Utime |
定量分析(有機物質) | DXN類分析 |
キャピラリー電気泳動装置 大塚電子製 CAPI-3500 |
イオン定量分析 | メッキ液、食品中のイオン成分の測定 |
マイクロウェーブ分解装置 パーキンエルマー製 マルチウェーブHF-50型 |
分析試料の分解 | 部材、食料品等の分解 |
ウェーハ表面気相分解(VPD)装置 NAS技研 VPDBOX-300-5M |
ウェーハ表面の気相分解 | ウェーハ表面金属汚染の分析 |
ウェーハ自動前処理装置 NAS技研 SC-2000 |
ウェーハ表面の自動回収 | ウェーハ表面金属汚染の分析 |
自動燃焼装置 三菱化学アナリテック社製 AQF-2100H |
イオン定量分析(ハロゲン分析) | RoHS指令分析 薬液中のハロゲン分析 |
イオンクロマトグラフ(IC) 日本ダイオネクス製 ICS-2000 |
イオン定量分析(ハロゲン分析) | RoHS指令分析 薬液中のハロゲン分析 |