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- 環境測定 [使用分析装置一覧]
| 分析装置 | 機能 | 応用 |
|---|---|---|
| 透過型電子顕微鏡（ＳＴＥＭ） 日立製作所製 ＨＤ-2000 |
微小部分の観察 | 電子部品の微小異物観察・分析 結晶欠陥、結晶粒子の観察 |
| 集束イオンビーム加工観察装置（ＦＩＢ） 日立製作所製 ＦＢ-2100・ＦＢ-2000A |
試料の微細加工 | 透過型電子顕微鏡用試料の前加工 |
| クロスセクションポリッシャー（ＣＰ） 日立ハイテクノロジーズ製 Ｅ-3500 計2台 |
試料断面の作成 | メッキ厚さの測定、金属間合金層の観察-分析 膜間異物の断面観察-分析、金属母材結晶粒界の確認 |
| 走査型電子顕微鏡（低真空ＳＥＭ） 日立ハイテクノロジーズ製 Ｓ-3400Ｎ |
表面観察・定性分析 | 低真空での試料表面観察、定性分析、線・面分析 |
| 電子線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ） 島津製作所製 ＥＰＭＡ-1400 |
ＳＥＭ観察、定性分析 （点・線・面分析） |
半導体素子の断面観察 付着異物の組成分析・元素の分布状態 |
| 走査型オージェ電子分光分析装置（ＳＡＭ） 日本電子製 ＪＡＭＰ-30 |
表面分析、深さ方向分析 （点・線・面分析） |
表面の酸化・腐食・汚染等の解析 薄膜・多層膜の層構造解析 薄膜・多層膜の膜界面状態の調査 |
| フーリエ変換赤外分光分析装置（ＦＴ-ＩＲ） パーキンエルマー製 本体：spectrum100 顕微ＩＲ：spectrum spotlight200 |
構造解析（微小部・薄膜可） | 異物の有機定性分析 Ｓｉウェーハ中の酸素濃度 窒化膜中の水素濃度 |
| 蛍光Ｘ線装置（ＸＲＦ） 島津製作所製 ＥＤＸ-720 |
定性分析 | 各種部材の定性・半定量分析 ＲｏＨＳ指令スクリーニング分析 |
| Ｘ線回折装置（ＸＲＤ） パナリティカル製 Panalitical Ｘ’PertPRO |
結晶構造解析、定性分析 （微小部・薄膜可） |
デバイス材料等の構造解析 異常部・析出物等の構造解析 石綿含有量の測定 |
| グラファイトファーネス原子吸光光度計（ＧＦ-ＡＡＳ） バリアン製 SpectrAA-400 アナリティックイエナ製 ZEEnit650 |
金属定量分析（超微量分析） | 純水中の超微量金属不純物分析 高純度薬液中の超微量金属不純物分析 ウェーハ表面の超微量金属不純物分析 |
| 誘導結合プラズマ発光分光分析装置（ＩＣＰ-ＡＥＳ） パーキンエルマー製 ＯＰＴＩＭＡ 3300ＸＬ |
定量分析（金属元素） | 薬液中の不純物分析 各種材料中の不純物分析 |
| 全有機炭素計（ＴＯＣ計） 島津製作所製 ＴＯＣ-5000他 計2台 |
トータル有機物量の測定 | 純水中のＴＯＣ測定 |
| 誘導結合プラズマ質量分析装置（ＩＣＰ-ＭＳ） Agilent Technologies 7500cs |
金属定量分析（超微量分析） | 純水中の超微量金属不純物分析 高純度薬液中の超微量金属不純物分析 ウェーハ表面の超微量金属不純物分析 |
| イオンクロマトグラフ（ＩＣ） 日本ダイオネクス製 ＤＸ-500 計２台 |
イオン定量分析（超微量分析） | 純水中の超微量アニオン不純物分析 ウェーハ表面の超微量アニオン不純物分析 環境汚染分子アンモニアの定量分析 |
| 液体クロマトグラフ質量分析装置（ＬＣ-ＭＳ） Waters 2695-ZQ |
定量分析（有機物質） | 環境汚染分子ホルムアルデヒドの定量分析 |
| ガスクロマトグラフ質量分析装置(ＧＣ-ＭＳ) 日本電子製 ＪＭＳ-Ｋ9 島津製作所 ＧＣＭＳ-ＱＰ2010 Plus 他 計５台 |
定性・定量分析（有機物質） | 環境汚染分子有機物質の定性・定量分析 キャリア等からの発生ガス有機物質分析 各種サンプルの微量ＶＯＣ分析（水、大気、材料） 環境汚染分子有機物質の定性・定量分析 キャリア等からの発生ガス有機物質分析 |
| 高分解能ガスクロマトグラフ質量分析計 Micro Mass社製 AutoSpec-Utime |
定量分析（有機物質） | ＤＸＮ類分析 |
| キャピラリー電気泳動装置 大塚電子製 ＣＡＰＩ-3500 |
イオン定量分析 | メッキ液、食品中のイオン成分の測定 |
| マイクロウェーブ分解装置 パーキンエルマー製 マルチウェーブＨＦ-50型 |
分析試料の分解 | 部材、食料品等の分解 |
| ウェーハ表面気相分解（ＶＰＤ）装置 ＮＡＳ技研 ＶＰＤＢＯＸ-300-5Ｍ |
ウェーハ表面の気相分解 | ウェーハ表面金属汚染の分析 |
| ウェーハ自動前処理装置 ＮＡＳ技研 ＳＣ-2000 |
ウェーハ表面の自動回収 | ウェーハ表面金属汚染の分析 |
| 自動燃焼装置 三菱化学アナリテック社製 AQF-2100H |
イオン定量分析（ハロゲン分析） | RoHS指令分析 薬液中のハロゲン分析 |
| イオンクロマトグラフ(IC) 日本ダイオネクス製 ICS-2000 |
イオン定量分析（ハロゲン分析） | RoHS指令分析 薬液中のハロゲン分析 |
