超微量分析のご紹介 「SEMI F57規格による溶出試験」

カテゴリー: 材料分析

 半導体製造における超純水・高純度薬液供給に使用されるポリマー部材に適用されるSEMI F57規格(Provisional Specification for Polymer Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems)に準拠したイオン汚染、金属汚染、TOC汚染の溶出試験(超純水封入、85℃、7日間溶出)を実施いたします。

この他、塩酸やフッ化水素酸等、各種薬液による溶出試験や、溶出温度、期間などお客様ごとにカスタマイズした実験も承ります。

溶出試験結果の一連(サンプル:PFA製パーツ) (単位:μg/㎡)

分析項目

規格

結果

臭化物

Br-

100

10

塩化物

Cl-

3000

15

フッ素

(F-/Acetate)

60000

1000

硝酸塩

NO3-

100

10

亜硝酸塩

NO2-

100

10

リン酸塩

PO43-

300

10

硫酸塩

SO42-

300

10

アルミニウム

Al

10

0.1

バリウム

Ba

15

0.1

ボロン

B

10

0.1

カルシウム

Ca

30

0.5

クロム

Cr

1

0.1

Cu

15

0.1

Fe

5

0.1

Pb

1

0.1

リチウム

Li

2

0.1

マグネシウム

Mg

5

0.1

マンガン

Mn

5

0.1

ニッケル

Ni

1

0.1

カリウム

K

15

0.2

ナトリウム

Na

15

0.8

ストロンチウム

Sr

0.5

0.1

亜鉛

Zn

10

0.5

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滋賀県大津市晴嵐二丁目9番1号
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カテゴリー: 材料分析 | 2017 年 6 月 12 日 月曜日